SEMI/FPD设备安全辅导与检测

服务内容:
SEMI/FPD设备安全辅导与检测





SEMI标准於1985年由美国提出后，并於1989年被INTEL采用后，目前全球制造商会被要求在出厂前准备SEMI 安全评估报告，内容包含「SEMI S2 设备安全卫生环保基准」以及「SEMI S10 风险评估」。本技术除了协助业者研拟设备安全现场评估查核表外，也包括设备重大风险(如鉴认火灾、电气设计、机械手臂、安全连锁、紧急停机、化学品)安全联锁清单建立及SEMI S10 PHA风险分析。

本服务项目包含的SEMI相关标准有：
SEMI S2  半导体制造设备安全卫生及环保基准
SEMI S6  半导体制造设备通风排气基准
SEMI S8  半导体制造设备人因工程之安全基准
SEMI S10  风险评估及风险估算过程之安全基准
SEMI S22  半导体制造设备电气设计之安全基准
SEMI S26  FPD制造系统的环境、卫生与安全基准
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