SEMI/FPD設備安全輔導與檢測

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SEMI/FPD設備安全輔導與檢測





SEMI標準於1985年由美國提出後，並於1989年被INTEL採用後，目前全球製造商會被要求在出廠前準備SEMI 安全評估報告，內容包含「SEMI S2 設備安全衛生環保基準」以及「SEMI S10 風險評估」。本技術除了協助業者研擬設備安全現場評估查核表外，也包括設備重大風險(如鑑認火災、電氣設計、機械手臂、安全連鎖、緊急停機、化學品)安全聯鎖清單建立及SEMI S10 PHA風險分析。

本服務項目包含的SEMI相關標準有：
SEMI S2  半導體製造設備安全衛生及環保基準
SEMI S6  半導體製造設備通風排氣基準
SEMI S8  半導體製造設備人因工程之安全基準
SEMI S10  風險評估及風險估算過程之安全基準
SEMI S22  半導體製造設備電氣設計之安全基準
SEMI S26  FPD製造系統的環境、衛生與安全基準
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